型號FLT-002
溫度范圍5℃～40℃
產品熱流儀
控溫精度±0.1℃
流量控制 10～25L/min 5bar max
制冷量at10℃6kw
產品名稱介質刻蝕雙通道chiller
【 冠亞制冷 】半導體行業主營控溫產品：
半導體專溫控設備
射流式?低溫沖擊測試機
半導體**溫控設備chiller
Chiller氣體降溫控溫系統
Chiller直冷型
循環風控溫裝置
半導體?低溫測試設備
電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源
射流式高低溫沖擊測試機
快速溫變控溫卡盤
數據中心液冷解決方案
半導體**溫控設備利用制冷循環和工藝冷卻水的熱交換原理通過對半導體工藝設備使用的循環液的溫度、流量和壓力進行控制，以實現半導體工藝制程的控溫需求，是集成電路制造過程中不可缺的關鍵設備。
半導體**溫控設備（Chiller）依據不同工藝制程要求控制給定溫度的循環液流經半導體工藝設備反應腔內，將熱量帶入半導體**溫控設備，半導體**溫控設備通過熱交換器將熱量傳遞給制冷劑，再通過制冷劑將熱量釋放給工藝冷卻水，從而實現對工藝制程的溫度控制。
半導體行業控溫解決方案-高精度溫控系統
?錫冠亞恒溫制冷技術有限公司是?家集研發、?產和銷售為?體的?端裝 備制造企業，主要產品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等專?設備，?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領域。產品精度高、溫度控制智能，溫度控制范圍寬，從-150℃ ~ +350℃俱全，適合多數企業恒溫控制需求。控溫精度可達±0.1℃，制冷功率從0.5kW到1200kW均可提供相應產品。
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